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FGL系列双温区-管式梯度炉(T max 1700℃和T max 1400)

FGL系列双温区-管式梯度炉专门设想用于有温度梯度要求的CVD工艺。两个温区自力掌握,温区可零丁利用。在统一腔体内实现差别的温度差,是CVD工艺的公用幻想装备。

特性

u 智能法式控温仪掌握精准、可编纂、贮存并挪用多段法式

u 炉壳构造,双层炉壳风冷构造

u 接纳不锈钢双层密封法兰,进、出气配美标针阀

u 两头可调理式法兰支持构造,耽误刚玉管使用寿命

u 超温庇护功用,当温度超过许可设定值主动断电

u 宁静庇护当炉体泄电时主动断电

u LED高强度抗毁坏全不锈钢按钮,经久耐用


拓展选件:

u炉内丈量体系:(氧含量检测体系、温度检测体系)

u真空体系:(旋片式机器泵、分散泵机组、份子泵机组)

u氛围体系:(浮子流量计、质量流量计)

u监控体系:(温度记录仪、触摸屏长途监控)


技术参数:

装备型号

高温

利用温度

管径

/高温区长度

热偶

电压

功率

FGL-50/17/2

1700

高温区温度

1000-1600

高温区温度

RT-1000

50mm

200/200mm

B/S

220V

6.0KW

FGL-60/17/2

1700

60mm

200/200mm

B/S

220V

FGL-70/17/2

1700

70mm

200/200mm

B/S

220V

FGL-80/17/2

1700

80mm

200/200mm

B/S

220V

FGL-50/14/2

1400

高温区温度

RT-1300

高温区温度

RT-1000

50mm

200/200mm

S/K

220V

9.0KW

FGL-60/14/2

1400

60mm

200/200mm

S/K

220V

FGL-70/14/2

1400

70mm

200/200mm

S/K

220V

FGL-80/14/2

1400

80mm

200/200mm

S/K

220V

注:给出的最高温度为事情管外测定,别的温区个数和加热区长度可按照客户工艺要求定制。


网址: www.facerom.com

贩卖热线:0551-67166660 ,0551-67166661 ,13966718548 方先生

邮箱: facerom@163.com


检察次数:
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