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FGLRTP系列滑轨式管式炉(T max 1100)

滑轨管式炉一体化结构设计,用于1100℃以下快速升温快速降温的特别工艺要求经由过程挪动炉体实现快速冷却的目标。同时也能够预先设定温度,然后挪动到样品处,到达快速升温的结果高纯石英管作为炉膛,无污染,抗急冷急热机能好。装备形状精致美妙,周边拓展性好,合适利用普遍的RTP工艺及CVD石墨烯工艺。

特性

u 工作温度RT1000

u 日本进口智能法式控温仪掌握精准、可编纂、贮存并挪用多段法式

u 接纳陶瓷纤维FEC加热模块,电阻丝内嵌式环抱加热

u 炉壳构造,双层炉壳风冷构造

u 不锈钢双层密封法兰,进、出气美标针阀

u 两头可调理式法兰支持构造耽误石英管的使用寿命

u 超温庇护功用,当温度超越许可设定值主动断电

u 宁静庇护当炉体泄电时主动断电


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u炉内丈量体系:(氧含量检测体系、温度检测体系)

u真空体系:(旋片式机器泵、分散泵机组、份子泵机组)

u氛围体系:(浮子流量计、质量流量计)

u监控体系:(温度记录仪、触摸屏长途监控)

注:选件需设置拓展柜体


技术参数:

装备型号

最高温度

管径

加热区

温区数

热电偶范例

电压

功率

FGL(RTP)-40/11/1

1100

40mm

320 mm

1

K

220V




3.0KW

FGL(RTP)-50/11/1

1100

50mm

320 mm

1

K

220V

FGL(RTP)-60/11/1

1100

60mm

320 mm

1

K

220V

FGL(RTP)-70/11/1

1100

70mm

320 mm

1

K

220V

FGL(RTP)-80/11/1

1100

80mm

320 mm

1

K

220V

注:给出的最高温度为事情管外测定,别的温区个数和加热区长度可按照客户工艺要求定制。


网址:
www.facerom.com

贩卖热线:0551-67166660, 0551-67166661, 13966718548 方先生

邮箱: facerom@163.com

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